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qy球友会下载|木村衣里|精密测量仪器产业现状与未来技术趋势剖析——访西安交通大
IFMI & ISPEMI 2024期间，仪器信息网特别采访了西安交通大学杨树明教授，就其研究方向、精密测量技术发展趋势以及我国精密测量仪器产业发展现状等话题展开分享。 近日，第3届高端测量仪器国际论坛暨第13届精密工程测量与仪器国际会议（IFMI & ISPEMI 2024）在山东青岛成功举办。会议邀请各国精密工程测量与仪器领域的科学家、专家与业界领袖，就国际精密工程测量与
IFMI & ISPEMI 2024期间ღ✿★ღ★，仪器信息网特别采访了西安交通大学杨树明教授ღ✿★ღ★，就其研究方向ღ✿★ღ★、精密测量技术发展趋势以及我国精密测量仪器产业发展现状等话题展开分享ღ✿★ღ★。
近日ღ✿★ღ★，第3届高端测量仪器国际论坛暨第13届精密工程测量与仪器国际会议（IFMI & ISPEMI 2024）在山东青岛成功举办ღ✿★ღ★。会议邀请各国精密工程测量与仪器领域的科学家ღ✿★ღ★、专家与业界领袖ღ✿★ღ★，就国际精密工程测量与仪器领域面临的重大机遇ღ✿★ღ★、重大科学问题和关键技术问题展开深入研讨ღ✿★ღ★，展望其未来发展方向和技术路线等ღ✿★ღ★。
会议期间ღ✿★ღ★，仪器信息网特别策划了专访环节qy球友会下载ღ✿★ღ★，荣幸地邀请到了西安交通大学杨树明教授木村衣里ღ✿★ღ★，就其研究方向qy球友会下载ღ✿★ღ★、精密测量技术发展趋势以及我国精密测量仪器产业发展现状等话题展开分享ღ✿★ღ★。
我一直聚焦于微纳测量领域ღ✿★ღ★，包括在该领域开展基础和应用研究ღ✿★ღ★，以及关键技术和装备开发等ღ✿★ღ★。近些年来ღ✿★ღ★，我们把微纳测量技术应用于芯片检测领域ღ✿★ღ★，特别是晶圆缺陷检测设备的研发ღ✿★ღ★。在长期技术储备的基础上ღ✿★ღ★，我们与企业紧密合作ღ✿★ღ★，争取在该领域实现重大突破ღ✿★ღ★，推动我国半导体芯片检测技术的自主化进程ღ✿★ღ★，解决晶圆缺陷检测的国产化难题ღ✿★ღ★。
杨树明教授ღ✿★ღ★：我觉得人才是核心要素ღ✿★ღ★。一方面ღ✿★ღ★，该领域专业人才短缺ღ✿★ღ★，当前亟需通过提升高校培养规模ღ✿★ღ★、鼓励更多高校开设相关专业来加强人才供给ღ✿★ღ★；另一方面ღ✿★ღ★，构建有效的激励机制与制度保障ღ✿★ღ★，从而吸引并留住优秀人才在该领域长期耕耘ღ✿★ღ★。这两方面对于补齐我国与国际精密测量技术先进水平之间的差距具有关键作用ღ✿★ღ★。另外ღ✿★ღ★，要推动我国精密测量技术的蓬勃发展ღ✿★ღ★，逐步缩小与国际前沿的差距ღ✿★ღ★，并实现超越ღ✿★ღ★，我们还需要从多个维度上坚持不懈地努力ღ✿★ღ★。
仪器信息网ღ✿★ღ★：我国在精密测量技术及仪器领域面临哪些挑战？特别是关键核心零部件及供应链方面是否存在瓶颈？
杨树明教授ღ✿★ღ★：当前ღ✿★ღ★，从关键零部件至整机ღ✿★ღ★，我们仍面临诸多挑战ღ✿★ღ★。例如光源ღ✿★ღ★，尽管国内光源性能正逐步提升ღ✿★ღ★，但是短波长光源尚且没有完全达到应用要求ღ✿★ღ★，市场上尚缺乏适用于晶圆缺陷检测的成熟光源产品ღ✿★ღ★。同时ღ✿★ღ★，探测器ღ✿★ღ★、光学元件等关键零部件与国际先进水平相比ღ✿★ღ★，仍存在一定的差距ღ✿★ღ★。不过ღ✿★ღ★，我们在人工智能领域表现亮眼ღ✿★ღ★，相关技术在精密测量技术领域的应用ღ✿★ღ★，展现了一定的优势ღ✿★ღ★。
杨树明教授ღ✿★ღ★：智能已成为众多领域关注焦点之一ღ✿★ღ★。在测量领域ღ✿★ღ★，人工智能影响着测量的标定方法qy球友会下载ღ✿★ღ★、管理方式和应用领域等木村衣里ღ✿★ღ★，同时人工智能发展又需要测量作为支撑ღ✿★ღ★，包括数据如何精确获取木村衣里ღ✿★ღ★、数据处理算法和模型的准确性等ღ✿★ღ★。可见ღ✿★ღ★，人工智能与精密测量必然相互融合发展ღ✿★ღ★。
杨树明教授ღ✿★ღ★：过去的测量工作主要聚焦于单一物理量ღ✿★ღ★，采用单一方法和设备完成ღ✿★ღ★。然而qy球友会下载ღ✿★ღ★，随着测量需求日益多样化与复杂化ღ✿★ღ★，测量向着多物理量同步测量的方向迈进ღ✿★ღ★，要求测量仪器和设备集成多测头ღ✿★ღ★，具有多功能ღ✿★ღ★。随着加工精度和尺度从微米级到纳米级再到原子级ღ✿★ღ★，精度与尺度的极致追求对测量技术提出了更高要求ღ✿★ღ★，而且极端化的工作环境使得传统方法与技术难以胜任ღ✿★ღ★。此外ღ✿★ღ★，极致精度和极端尺度方面qy球友会下载ღ✿★ღ★，缺乏标准和测量规范ღ✿★ღ★，需要探索新的计量与溯源方法ღ✿★ღ★。
杨树明教授ღ✿★ღ★：这是国产仪器发展的好机会和机遇ღ✿★ღ★。国产设备因性能与进口设备存在一定差距qy球友会下载ღ✿★ღ★，导致市场在选择时往往倾向于进口产品ღ✿★ღ★。在当前国际形势下ღ✿★ღ★，加上政策支持与国产仪器前期的基础和积累ღ✿★ღ★，国产仪器有望加速融入市场ღ✿★ღ★，在实际应用中不断迭代升级ღ✿★ღ★，逐步提升其性能ღ✿★ღ★。这必将促进国产仪器行业的加速发展木村衣里ღ✿★ღ★，并逐步实现国产替代ღ✿★ღ★。
仪器信息网ღ✿★ღ★：在国产替代的大背景下ღ✿★ღ★，您认为国产精密测量仪器企业应加强哪些方面的能力建设以提升竞争力？
杨树明教授ღ✿★ღ★：首先ღ✿★ღ★，应加强企业与高校的紧密合作ღ✿★ღ★。企业应主动寻求与高校的深度合作ღ✿★ღ★，而高校也应积极与企业对接ღ✿★ღ★。双方应基于各自的需求与优势ღ✿★ღ★，构建协同发展的合作模式ღ✿★ღ★。企业应充分利用高校的科研平台与资源优势ღ✿★ღ★，在制定未来发展规划时ღ✿★ღ★，特别是涉及新技术ღ✿★ღ★、新方法时qy球友会下载ღ✿★ღ★，与高校紧密合作ღ✿★ღ★，让高校进行前瞻性研究ღ✿★ღ★。实际上木村衣里qy球友会下载ღ✿★ღ★，高校也要积极与企业开展紧密合作ღ✿★ღ★，与企业携手并进ღ✿★ღ★，才能使其成果落地ღ✿★ღ★。
借此机会ღ✿★ღ★，我们诚挚希望与更多企业及高校研究院所携手ღ✿★ღ★，共同研发高端测量仪器ღ✿★ღ★，为国家解决“卡脖子”技术和产业升级提供技术支撑ღ✿★ღ★。球友会ღ✿★ღ★，QY球友会球友会APPღ✿★ღ★，QY千亿球友会ღ✿★ღ★，建材ღ✿★ღ★，电子仪器
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